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產品名稱: 巖田ISP無油渦旋式真空泵
發布日期: 2016-08-08
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二維碼:
巖田無油渦旋式真空泵
1、世界首創,ANEST IWATA制造了世界上第一臺無油渦旋真空泵
2、巖田無油渦旋真空泵不會污染真空管路和腔體,也不會造成泵體周圍的環境污染
3、iwata無油渦旋真空泵低振動、低噪音,性能穩定
4、無油渦旋真空泵不使用油和冷卻水,可以在大氣壓附近連續運轉,操作簡單
5、巖田無油渦旋泵極限真空低,應用廣泛
巖田無油渦旋真空泵應用范圍
電子加速器,同步輻射光速線真空抽氣
渦輪分子泵,羅茨泵等機械泵的預抽真空
真空固定
真空搬運
真空成型
真空泄漏檢測
真空脫氣
真空干燥
冷凝泵再生
真空包裝
濺射裝置
曝光裝置
真空鍍膜
分析儀器
回收裝置
液晶注入、封裝裝置
產品名稱 |
無油渦旋式真空泵 |
||||||
形式 |
ISP-50 |
ISP-90 |
ISP-250C |
ISP-500C |
ISPC-1000 |
||
設計排氣速度 |
50HZ L/min |
50 |
90 |
250 |
500 |
1000 |
|
極限真空度 |
Pa(50hz) |
20 |
5 |
1.6 |
1 |
1 |
|
電機輸出 |
Kw |
0.1 |
0.15 |
0.4 |
0.6 |
1.5 |
|
電壓值 |
V |
單相 |
AC200V.230V |
200/230 |
- |
||
三相 |
- |
- |
200/380 |
||||
噪音值 |
dB(A) |
48 |
52 |
58 |
60 |
67 |
|
重量 |
kg |
單相 |
12 |
14 |
25 |
44 |
|
三相 |
|
|
23 |
38 |
60 |
||
泄漏量 |
Pa.m3/s |
≤1*10-7 |
≤1*10-5 |
||||
水蒸氣處理量 |
g/day |
3(開氣鎮) |
5(開氣鎮) |
25(開氣鎮) |
|||
吸氣口徑 |
NW |
25 |
40 |
||||
排氣口徑 |
NW |
16 |
25 |
40 |
|||
冷卻方式 |
|
風冷 |
|||||
工作環境溫度 |
℃ |
5-40 |
10-40 |
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