真空退火爐的應用真空泵

真空退火爐的應用真空泵

真空退火爐的應用領域有離子注入/接觸退火；快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同氣體氛圍環境下使用；SiAu, SiAl, SiMo合金化；低介電材料；晶體化，致密化；太陽能電池片鍵合；電阻燒結其他熱工藝需求等等...

快速真空退火爐的系統組成：

主要由爐體、爐膽、爐蓋及抽真空裝置和溫控系統組成。

推薦真空泵：巖田ISP系列渦旋真空泵。其特點是高能效/環保/高可靠性/節能等等優點。

                      昆山帕斯卡真空技術有限公司

                                         制作人：李韋來

                                         日期：2021/1/24