低溫泵

低溫泵

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。

在低溫泵內設有由液氦或制冷機冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結，并保持凝結物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。

低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環氣氦制冷機低溫泵兩種。

低溫泵的優點：

(1) 低溫泵在獲取潔凈和無油真空方面，具有其他產品無法相比的優勢。

(2)低溫泵在抽除水蒸汽和其他潮濕混合氣方面具有較大抽速；

(3)低溫泵在抽取輕重量分子方面也具有較大抽速；

(4)在要求大抽速的真空設備中，低溫泵是最經濟的。

(5)低溫泵是基于低溫吸附而工作的，不需要其他電子材料，不會有波動；

(6)在真空中無任何運動部件，高穩定性，也不會帶來密封問題；

(7)低溫泵的安裝無任何方向要求；

(8)低溫泵還可以進行選擇性的抽取某種氣體。